Последование елеосвящения получило свой вид и состав постепенно, как и все другие виды церковной службы. Вначале, в первые века, оно было немногосложно, состоя из нескольких псалмов и нескольких молитв при освящении елея и при помазании тела елеем. К этому, вероятно, присоединялись еще чтения из Апостола и Евангелия и в заключение молитва с возложением рук на главу больного, помазанного елеем.

В IV и V вв. труды святителей Василия Великого и Иоанна Златоуста по устройству богослужения коснулись и таинства Елеосвящения. По крайней мере несомненно, что одна из молитв, ныне читаемых при помазании больных святым елеем: «Благодарим Тя, Господи Боже наш», — принадлежит Василию Великому (6-я), а другая: «Господи Боже наш» (5-я по общему счету), — принадлежит Иоанну Златоусту.

В последовании Григория Великого приведены шесть молитв.

Около VII века начинает входить в употребление чтение семи молитв, или пение семи покаянных псалмов, приличных таинству. И вообще в это время становится заметным влияние седмеричного числа на построение чина елеосвящения. В IX веке был составлен канон Арсением, епископом Корфским, и уже существовало семь молитв, произносимых при помазании, хотя некоторые из них короче ныне существующих.

Из молитв, существующих в нынешнем последовании святого елея, древнейшими оказываются:

первая наша молитва по освящении елея «Господи, милостию и щедротами...»;

третья молитва при помазании больного «Владыко Вседержителю, Святый Царю...»

и, наконец, молитва совершительная: «ОТЧЕ СВЯТЫЙ, ВРАЧУ ДУШ И ТЕЛЕС...», встречающаяся в первый раз в чине IX в. По словам Симеона Солунского, еще в XV в. она читалась тайно при елеосвящении. Чтение же этой молитвы при всех семи помазаниях вошло в церковную практику в позднейшее время — в XIV–XVI веках.